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第74章 抓安全生产工作

汪正评对于公司现在所取得的成绩是很开心的,但他知道能有今天的成绩大部分是石莫的功劳,每每想起石莫对半导体技术的看视,重金投入,大笔的烧钱,他都有一点兴奋,有些庆幸他两年前没有拒绝石莫的邀请。

汪正评作为一个技术宅,是很乐意见到半导体技术的快速进步的,身为这个行业内的一份子,对于石莫的疯狂投入技术研发的壮举,使他有一种狂热的感觉。

石莫在2012实验室设立的半导体研究所和半导体设备研究所,为晶圆厂的建设提供了很大的帮助,没有他们的支持,别说第二座晶圆厂的成功兴建了,可以说首座晶圆厂的建设都可能会失败,想顺利开工投产很难。

这两年,林本坚和马佐凭等人组织了3000多名技术精英,共同研制公司的高性能DRAM和处理器的制程设备等。其中一个目标是在近期突破64K DRAM和256K DRAM的实用化,远期在5-10年内,实现1M DRAM的实用化。

现在林本坚他们正在进行超大规模集成电路(VLSI)的相关设备和材料的研发,有望在1985年完成“VLSI”项目,而此项技术在日国1980年时就已经研发成功。

新世界公司从1980年开始重金投入研发,建立了完善的赶超日国DRAM产业和美国芯片设计产业的研发体系。

新世界建立了3个研发中心,分别在香港、美国硅谷和日国东京。与之对应的是,研究费用成倍投入,1980年新世界在半导体领域的有效研发投入仅有8850万美金,到现在已经高达9亿美金。在专利技术方面,1980年新世界的专利技术应用有708项,目前已经上升到2336项。

石莫一行人来到制造半导体产品最关键的,位于第三层的无尘室,设备维护工作则在二层的“SubFab”层完成,这个工厂的生产重心是闪存颗粒,旁边的另一个工厂才是生产处理器。

孟婉池是首次进入半导体行业,担任理事长助理一职。这次是第一次参观晶圆厂,看着地面并非是她平常所了解的硬地板,而是采用的一种类似于网状的设计,但是却非常的坚固,有些疑惑,于是好奇的向汪正评问道:“汪经理,请问地面为什么要做成这样呢?”

汪正评微笑着答道:“厂内的地面全部打孔,是为了保证空气从上向下流通,将落尘的可能减到最小。并且房间里的空气,每5分钟就要完全的更换一次。”

说完,汪正评还向孟婉池他们介绍了晶圆厂内走廊顶端的自动运输系统。

晶圆厂是使用自动化材料处理系统的自动化工厂。为此,芯片在一种称为前端开启式晶圆传送盒(FOUP)的封闭容器中进行加工和运输。使用高架式芯片运输车(OHT)系统将FOUP从一组设备运送到另一组。据汪正评说,在大型晶圆厂中,OHT轨道可以长达7公里,可容纳上百辆汽车。

此时自动化材料处理系统(AMHS)正在以每小时8公里的速度将晶圆在各个制造环节间运输,24小时不停歇。

生产在线的晶圆传送盒(FOUP)能携带6片3寸晶圆,在数公里的高空轨道上经过扩散、清洗、微影、蚀刻、抛光、薄膜与量测等数道程序。目前整个工厂员工总数约有1700人,以轮班制维持24小时生产线运作。

生产线上可以看到有很多身穿无尘衣的技术人员在忙碌着,石莫还和一线作业员进行了短暂的交流,询问生产的相关情况。

石莫最关心的是生产安全问题,半导体制造行业是一个高危行业,其中很多的化工用品都是致癌物,如苯、氢氟酸、硝酸等,原料上,二氧化硅并没有毒,但是粉末状的二氧化硅气溶胶就会引起尘肺和肺癌,就是有毒的。另外,半导体厂常用的掺杂原料多数有毒,比如硅烷、砷烷等,或是三甲基镓等等化合物。它们或直接是剧毒物质,或其与空气、水等反应后生成的物质有毒。

三星就因为在管控半导体工厂环境方面存在疏忽,导致工人患癌致病。三星半导体成立十几年来,已经有约320名三星工厂受害者先后换上癌症(血癌,俗称白血病),其中,有118名血癌患者已经死亡。

随后石莫在现场查看了安全生产应急设备的情况,并详细询问汪正评关于安全隐患预防的落实情况。

石莫严肃的向汪正评警告道:“安全生产